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按臭氧發生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開放式兩種。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于不銹鋼。開放式發生器的電極臭氧消毒機是暴露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發生器可代替開放式發生器使用。但間隙放電式臭氧發生器成本遠高于開放式。
臭氧發生器世界好的是來自德國技術的產品德國安思羅斯公司ANSEROS的臭氧發生器，德國WEDICO的發生器。 臭氧發生器概述 臭氧發生器是用于制取臭氧的設備裝置。

臭氧易于分解無法儲存需現場制取現場使用（但是在特殊的情況下是可以進行短暫時間的儲存），凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在自來水，污水，工業氧化，空間滅菌等領域廣泛應用。